静电悬浮控制系统

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《静电悬浮控制系统》包括球电极三维静电力分析，球碗间隙纳米级计算，变间隙电容传感器设计，悬浮支承随动控制，并行容错分时分频支承控制，静电悬浮综合技术与机电关系等。

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