超大规模集成电路衬底材料性能及加工测试技术工程

出版社:冶金工业出版社
出版日期:2002-1
ISBN:9787502430504
作者:刘玉岭等编著
页数:311页

《超大规模集成电路衬底材料性能及加工测试技术工程》介绍了作为超大规模集成电路衬底材料硅的性能、硅单晶衬底的加工工艺以及相关的测试技术。