《气体放电物理》书评

非常好的一本讲气体放电的书！

最近要接触磁控溅射薄膜，在网上买了些书来看。要掌握薄膜溅射技术，真空技术和气体放电这两方面的知识是必备的。只可惜，新出的介绍薄膜制备的书大多讲的很宽泛，不深入，只是介绍真空的一些基本概念和几种PVD或CVD的方法，等等，对气体放电这一关键过程很少交待。即便有，也只是东拼西凑，只摆出几个名词几个公式，名词、概念也不解释，公式不推导，看得我很头痛！这天偶尔在网上论坛里瞎逛，了解到有这么一本《气体放电物理》的书，作者是徐学基、诸定昌，1996年出的，可惜现在很难买到了。历尽千辛万苦找到扫描PDF版，迫不及待浏览了一下，讲的太棒了！概念清晰、阐述深入、推导严谨，而且不需要有太深厚的物理基础，绝世一好书也！