多弧离子镀技术与应用

作者简介

《多弧离子镀技术与应用》是近20年来国内外大量相关文献的综合、分析、整理并结合作者的相关研究工作总结而成的。全书共分11章。第1章重点介绍了多弧离子镀的沉积原理与技术特点；第2章、第3章介绍了多弧离子镀的沉积工艺、大颗粒的控制及设备发展；第4～7章分别介绍了多弧离子镀在超硬反应膜、高温防护涂层、表面装饰膜以及功能膜制备方面的应用，给出了丰富的应用实例；第8章介绍了多弧离子镀技术制备合金涂层的成分设计及控制；第9章分析了超硬反应膜的形成元素；第10章、第11章分别介绍了多弧离子镀的镀一渗复合工艺和脉冲偏压多弧离子镀新技术。

书籍目录

1 多弧离子镀的沉积原理与技术特点1.1 真空镀膜技术概论1.2 多弧离子镀的基本结构与沉积原理1.3 多弧离子镀的技术特点1.4 多弧离子镀的应用2 工艺参数及液滴的控制2.1 大颗粒的产生2.2 大颗粒的去除2.3 大颗粒的控制效果2.4 大颗粒控制的工艺实现及优化参考文献3 多弧离子镀设备的改进3.1 国内外早期设备3.2 现阶段设备进展3.3 设备技术发展方向参考文献4 多弧离子镀超硬反应膜4.1 多弧离子镀TiN超硬反应膜4.2 多弧离子镀CrN超硬反应膜4.3 多弧离子镀ZrN超硬反应膜4.4 多弧离子镀（Ti，A1）N超硬膜4.5 多弧离子镀（Ti，Cr）N超硬膜4.6 多弧离子镀（Ti，Zr）N超硬膜4.7 多弧离子镀多元超硬反应膜参考文献5 多弧离子镀高温防护涂层5.1 高温防护涂层概述5.2 MCrAIX高温合金防护涂层5.3 Ti-A1-Cr系高温钛合金防护涂层5.4 热障涂层参考文献6 多弧离子镀装饰涂层7 多弧离子镀在功能薄膜中的应用8 多弧离子镀合金涂层的成分问题9 超硬反应膜形成元素分析10 多弧离子镀、渗复合工艺11 脉冲偏压多弧离子镀

编辑推荐

《多弧离子镀技术与应用》适合从事材料表面改性，特别是从事真空镀膜技术研究开发及实际生产应用的科技工作者阅读，也可供材料表面工程专业的研究生、本科生参考。

图书封面

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